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J-GLOBAL ID：200903069894371272

光干渉計の干渉位相検出方式

Inventor： 山羽 常雄 ,  愛甲 健二 ,  芹川 滋 ,  石森 英男
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 飯塚 義仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998056030
Publication number (International publication number)：1999237223
Application date： Feb. 20, 1998
Publication date： Aug. 31, 1999
Summary：

【要約】【課題】 測定面の反射率が変動した場合でも、正確にその段差間距離又は突起物の高さに相当する位相差を測定できるようにする。【解決手段】 測定位相を示す測定レーザ光と基準位相を示す基準レーザ光は分岐手段によって2方向に分岐される。分岐された一方の測定レーザ光及び基準レーザ光は第1の受光素子手段によって従来と同様に干渉出力信号に変換される。他方の測定レーザ光及び基準レーザ光は偏光手段によって測定レーザ光と基準レーザ光に分離される。分離されたレーザ光は第2及び第3の受光素子手段で電気信号に変換され、スライス電圧発生手段によって加算されてスライス電圧となる。位相検出手段はこのスライス電圧に基づいて干渉出力信号の位相を検出する。このようにスライス電圧を測定レーザ光及び基準レーザ光から直接求めているので、スライス電圧を異物単位の反射率変動に対して正確に追従させることができ、誤差のない干渉出力信号の位相検出が可能である。

Claim (excerpt)：

基準位相をなす第1のレーザ光と、測定位相をなす第2のレーザ光との間の干渉波の位相を検出する光干渉計の干渉位相検出方式において、前記第1及び第2のレーザ光をそれぞれ透過方向及び反射方向の2方向に分岐する分岐手段と、前記分岐手段によって分岐された一方の前記第1及び第2のレーザ光を受光し、それに応じた信号を出力する第1の受光素子手段と、前記分岐手段によって分岐された他方の前記第1のレーザ光及び前記第2のレーザ光から互いに異なる2つの偏光成分を取り出す偏光手段と、前記偏光手段によって取り出された一方のレーザ光を受光し、それに応じた信号を出力する第1の受光素子手段と、前記偏光手段によって取り出された他方のレーザ光を受光し、それに応じた信号を出力する第2の受光素子手段と、前記第1及び第2の受光素子手段からの出力信号を加算することによって干渉出力信号の振幅中点を検出するためのスライス電圧を出力するスライス電圧発生手段と、前記スライス電圧発生手段からのスライス電圧と前記第1の受光素子手段からの出力信号とを比較することによって前記干渉出力信号の位相を検出する位相検出手段とを備えたことを特徴とする光干渉計の干渉位相検出方式。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00

FI (3)：

G01B 11/30 D ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 G