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J-GLOBAL ID：200903069898748117
表面形状測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
篠田 實
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992207129
Publication number (International publication number)：1993203431
Application date： Jul. 10, 1992
Publication date： Aug. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 光点変位法の測定精度を高め、実用性を向上する。【構成】 1個または2個の光学系1,2を用いて被測定物3の表面に2個の光スポット13,23を生じさせ、それぞれの光線の反射光15,25による出力信号を用いて被測定物の表面形状を検出するようにした。【効果】 1個の光スポットを用いる従来の装置と比べて得られる情報量が増加するので測定精度が向上し、また被測定物の振動などの外乱を除去することが可能となる。
Claim (excerpt)：
被測定物の表面に斜めに光線を入射すると共に表面からの反射光を受光する光学系を備え、表面の形状や位置に応じて変位する反射光の光点の中心位置を電気信号に変換して被測定物の表面形状を検出するように構成された表面形状測定装置において、被測定物表面に2種類の光線により2個の光スポットを生じさせ、それぞれの光線の反射光による出力信号を用いて被測定物の表面形状を検出することを特徴とする表面形状測定装置。
Patent cited by the Patent：
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