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J-GLOBAL ID：200903069905500576

X線顕微鏡用試料カプセルおよびその温度制御装置

Inventor： 大関 尚夫
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995055753
Publication number (International publication number)：1996247909
Application date： Mar. 15, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 観察試料を封入したまま、観察試料あるいは試料空間の温度を測定できるX線顕微鏡用試料カプセルを提供する。【構成】 2枚のチップ1、2の間に形成された試料空間Sと有するX線顕微鏡用試料カプセルにおいて、試料空間Sに温度センサ30を設ける。

Claim (excerpt)：

2枚のチップの間に試料空間が形成されるX線顕微鏡用試料カプセルにおいて、前記試料空間に温度センサを設けたことを特徴とするX線顕微鏡用試料カプセル。

IPC (3)：

G01N 1/28 ,  G01N 33/48 ,  G21K 7/00

FI (5)：

G01N 1/28 W ,  G01N 33/48 E ,  G21K 7/00 ,  G01N 1/28 U ,  G01N 1/28 K