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J-GLOBAL ID：200903069906024077

マイクロ波応用装置

Inventor： 小倉 利夫 ,  原田 明一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立エレクトロニックデバイシズ株式会社
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997141392
Publication number (International publication number)：1998335095
Application date： May. 30, 1997
Publication date： Dec. 18, 1998
Summary：

【要約】【課題】 実際に動作しているマグネトロンのマイクロ波を使って基準インピーダンス(設定したい負荷インピーダンス)に負荷インピーダンスを設定する。【解決手段】 負荷インピーダンスを検出する検出器と該負荷インピーダンスを調整する調整器とを備える主回路に対して方向性結合器を介して副回路が具備され、前記副回路は、主回路の負荷からの反射波が流れる側に無反射終端器を、主回路の進行波が流れる側に所望のインピーダンスに設定するための調整器と無反射終端器とインピーダンスを確認検出する検出器とを備えるものであって、主回路のインピーダンスを前記副回路に設定したインピーダンスに一致するように調整する手段を備えた。

Claim (excerpt)：

負荷インピーダンスを検出する検出器と該負荷インピーダンスを調整する調整器とを備える主回路に対して方向性結合器を介して副回路が具備され、前記副回路は、主回路の負荷からの反射波が流れる側に無反射終端器を、主回路の進行波が流れる側に所望のインピーダンスに設定するための調整器と無反射終端器とインピーダンスを確認検出する検出器とを備えるものであって、主回路のインピーダンスを前記副回路に設定したインピーダンスに一致するように調整する手段を備えたことを特徴とするマイクロ波応用装置。

IPC (3)：

H05H 1/46 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (4)：

H05H 1/46 B ,  H05H 1/46 R ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/302 B