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J-GLOBAL ID：200903069923639573
金属薄膜型磁気記録媒体およびその製造法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
安田 敏雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991303549
Publication number (International publication number)：1993143972
Application date： Nov. 19, 1991
Publication date： Jun. 11, 1993
Summary：
【要約】【目的】 耐久性に優れ、ひいては高密度記録化の可能な金属薄膜型磁気記録媒体を提供する。【構成】 非磁性基板1 の上にCr下地層2 、磁気記録層3 およびC層4 がスパッタリングにより同順序で成膜されている。前記C層4 は、成膜後にN2 ガス雰囲気中で逆スパッタされ、又はC層の成膜に際して、ArとN2 との混合ガス雰囲気中でバイアススパッタにより成膜されたものである。このため、C層4 の少なくとも表面層にはN原子がC原子中に混入したものとなっている。
Claim (excerpt)：
非磁性基板の上にCr下地層、磁気記録層およびC層が同順序で積層形成された金属薄膜型磁気記録媒体において、前記C層は少なくともその表面層にN原子が混入していることを特徴とする金属薄膜型磁気記録媒体。
IPC (2)：
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