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J-GLOBAL ID：200903069937067718
ステージ装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
飯塚 雄二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996114192
Publication number (International publication number)：1997283429
Application date： Apr. 11, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：
【要約】【課題】 テーブル内の応力及び熱変形を低減できるステージ装置を提供すること。【解決手段】 テーブル(4)をその重心位置(14)で支持する支持手段(13a)と、重心位置(14)以外の位置でのテーブル(4)を駆動する非接触式の駆動手段(12a〜12f、16a〜16f)を備える。
Claim (excerpt)：
テーブルを移動可能に搭載したステージ装置において、前記テーブルを重心位置で支持する支持手段と;前記支持されたテーブルを非接触で駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とするステージ装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, H01L 21/68
, H01L 41/09
H01L 21/30 515 G
, H01L 21/68 K
, H01L 21/30 516 B
, H01L 41/08 U
