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J-GLOBAL ID:200903069950590799

透光性電磁波フィルタおよびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大野 精市
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999098785
Publication number (International publication number):2000294980
Application date: Apr. 06, 1999
Publication date: Oct. 20, 2000
Summary:
【要約】【課題】 銀層の赤外線反射特性を利用した電磁波遮蔽膜がガラス板上に被覆されたPDP用の前面電磁波フィルタで、実用的な耐久性を有し、かつ膜のピンホール等の欠点が少ないフィルタは得られなかった。【解決手段】 ガラス板の一方の面に、酸化アルミニウムを含有する酸化亜鉛の層とパラジウムを0.4重量%含む銀層とを交互に繰り返して積層し、7層からなるシート抵抗が2Ω/□以下の積層体を被覆した。この積層体の表面にPETフィルムを粘着剤により貼付て電磁波フィルタとした。また、この酸化亜鉛層は、導電性の酸化アルミニウムと酸化亜鉛の混合物の焼結体をターゲットとするスパッタリングにより成膜した。
Claim (excerpt):
透明基板の一方の面に、前記透明基板側から誘電体層と銀層とがこの順に交互に繰り返し積層された(2n+1(n≧1))層の積層体を含む透光性電磁波遮断膜が被覆された電磁波遮断膜付き基板において、前記誘電体層は、550nmの波長における屈折率が1.6〜2.7の帯電防止性金属酸化物層を含むことを特徴とする透光性電磁波フィルタ。
IPC (5):
H05K 9/00 ,  B32B 7/02 ,  B32B 9/00 ,  C03C 17/36 ,  H01J 29/88
FI (5):
H05K 9/00 V ,  B32B 7/02 ,  B32B 9/00 A ,  C03C 17/36 ,  H01J 29/88
F-Term (61):
4F100AA17B ,  4F100AA17D ,  4F100AA19B ,  4F100AA19D ,  4F100AA25B ,  4F100AA25D ,  4F100AA29B ,  4F100AA29D ,  4F100AA33B ,  4F100AA33D ,  4F100AB24C ,  4F100AB24E ,  4F100AB40C ,  4F100AB40E ,  4F100AD05B ,  4F100AD05D ,  4F100AK42 ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100BA10E ,  4F100EH66 ,  4F100GB08 ,  4F100GB33 ,  4F100GB41 ,  4F100GB90 ,  4F100JD08 ,  4F100JG01B ,  4F100JG01D ,  4F100JG03B ,  4F100JG03D ,  4F100JG05B ,  4F100JG05D ,  4F100JN01 ,  4F100JN01A ,  4F100JN18B ,  4F100JN18D ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4F100YY00D ,  4F100YY00E ,  4G059AA01 ,  4G059AC20 ,  4G059EA03 ,  4G059EA18 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  5C032AA02 ,  5C032AA07 ,  5C032EE02 ,  5C032EE03 ,  5C032EF05 ,  5E321AA46 ,  5E321BB23 ,  5E321GG05 ,  5E321GH01

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