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J-GLOBAL ID：200903069951959460
圧力センサ及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994024736
Publication number (International publication number)：1995209121
Application date： Jan. 26, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】 機械的強度に優れ、簡単に作成することができる圧力センサを提供する。【構成】 角枠状のフレーム2のほぼ中央にダイアフラム3を配設し、その下面のほぼ中央に、側面5aがシリコンウエハの{411}面で構成されほぼ等辺の逆八角錐台状をしたメサ部5を配設する。{100}面シリコンウエハ10に、マスク11の4辺がそれぞれ<110>方位に平行となるようにほぼ正方形状のマスク11を施し、異方性エッチングによりフレーム2やダイアフラム3及びメサ部5を一体として作成する。【効果】 ダイアフラム3に発生する応力集中を緩和し、機械的強度を向上させることができる。また、単純なマスクパターンにより簡単にメサ部5を形成することができる。
Claim (excerpt)：
薄膜状の弾性部に剛性部を設けた検知部を検知基板に支持させた圧力センサにおいて、前記剛性部の平面構造が八角形で、前記剛性部がシリコンの{411}面からなる8つの側面で囲まれていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (4)：
G01L 19/06
, G01L 19/00
, H01L 21/306
, H01L 29/84
