Pat

J-GLOBAL ID：200903069957599554

ガス溶解洗浄水の通水配管

Inventor： 森田 博志
Applicant, Patent owner： 栗田工業株式会社
Agent (1)： 内山 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998325627
Publication number (International publication number)：2000150450
Application date： Nov. 16, 1998
Publication date： May. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】電子材料などのウェット洗浄工程において、自己分解性ガスを溶解した洗浄水を、主配管から複数のユースポイントを有する枝配管に分岐して長距離移送しても、すべてのユースポイントにガス濃度のほぼ一定した洗浄水を供給することができるガス溶解洗浄水の通水配管を提供する。【解決手段】純水にガスを溶解した洗浄水をガスの共存下に移送する通水配管であって、主配管から枝配管が分岐する分岐部直近の上流側に、インラインミキサーを備えてなることを特徴とするガス溶解洗浄水の通水配管。

Claim (excerpt)：

純水にガスを溶解した洗浄水をガスの共存下に移送する通水配管であって、主配管から枝配管が分岐する分岐部直近の上流側に、インラインミキサーを備えてなることを特徴とするガス溶解洗浄水の通水配管。

IPC (2)：

H01L 21/304 648 ,  F17D 1/08

FI (2)：

H01L 21/304 648 K ,  F17D 1/08

F-Term (6)：

3J071AA11 ,  3J071BB11 ,  3J071CC03 ,  3J071CC11 ,  3J071DD26 ,  3J071FF11