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J-GLOBAL ID：200903069967465149
欠陥検査方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996044131
Publication number (International publication number)：1997210919
Application date： Feb. 05, 1996
Publication date： Aug. 15, 1997
Summary：
【要約】【課題】本発明は、欠陥検査方法について、広範囲に亘る検出感度に応じた感度制御データの設定時間を大幅に短縮し得るようにする。【解決手段】本発明は、1つ目の欠陥検査装置において、検出対象となる欠陥の大きさに応じた大きさを有する複数の基準粒子に対してそれぞれ感度制御データを求めて基礎データとして欠陥を検査し、以降の欠陥検査装置において、各基準粒子のうち少なくとも2つの基準粒子に対してそれぞれ感度制御データを測定し、当該各測定した感度制御データと、対応する各基礎データとに基づいて各基準粒子のうち残りの基準粒子に対する感度制御データを求め、当該各感度制御データ及び各測定した感度制御データを用いて欠陥を検査することにより、感度制御データを容易に求めることができ、かくして広範囲に亘る検出感度に応じた感度制御データの設定時間を大幅に短縮し得る欠陥検査方法を実現できる。
Claim (excerpt)：
被検査物の被検査面を光ビームで走査する光ビーム走査手段と、前記被検査物の前記被検査面で前記光ビームが反射してなる反射光を光電検出する光電検出手段と、検出対象となる欠陥の大きさに応じた感度制御データに基づいて前記光電検出手段の検出感度を制御する検出感度制御手段とを有する欠陥検査装置を用いて、前記被検査物の前記被検査面の前記欠陥を前記光電検出手段の出力に基づいて検査する欠陥検査方法において、1つ目の欠陥検査装置については、前記検出対象となる欠陥の大きさに応じた大きさを有する複数の基準粒子に対してそれぞれ感度制御データを求めて各該感度制御データをそれぞれ基礎データとして前記欠陥を検査し、以降の欠陥検査装置については、各前記基準粒子のうち、少なくとも2つの前記基準粒子に対してそれぞれ感度制御データを測定し、各該測定した感度制御データと、各該測定した感度制御データにそれぞれ対応する各前記基礎データとに基づいて、各前記基準粒子のうち残りの前記基準粒子に対する感度制御データを求め、各該感度制御データ及び各前記測定した感度制御データを用いて前記欠陥を検査することを特徴とする欠陥検査方法。
FI (2)：
G01N 21/88 E
, G01N 21/88 J
