Pat

J-GLOBAL ID：200903070005078702

クラスター生成方法および装置

Inventor： 岩田 康嗣 ,  韓 民 ,  木山 学 ,  福田 昭 ,  澤田 嗣郎 ,  武藤 麻紀子 ,  滝谷 俊夫 ,  小村 明夫
Applicant, Patent owner： 経済産業省産業技術総合研究所長 ,  日立造船株式会社
Agent (2)： 岸本 瑛之助 (外3名) ,  岸本 瑛之助 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999341406
Publication number (International publication number)：2001158956
Application date： Nov. 30, 1999
Publication date： Jun. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】 サイズの揃ったクラスターを生成する。【解決手段】 不活性ガスを満たしたクラスター生成空間において、クラスターの原料となるターゲットを蒸発させる。これにより、ターゲットの蒸発原子が膨張する状態を生じさせる。膨張する領域と、膨張により不活性ガス領域中に生じた衝撃波または衝撃波がクラスター生成空間の壁に反射した反射衝撃波とにより、それらの混合領域であるクラスター生成領域を形成する。クラスター生成領域内でクラスターを生成させ、生成したクラスターをクラスター生成空間から外部空間に取り出す。

Claim (excerpt)：

不活性ガスを満たしたクラスター生成空間において、クラスターの原料となるターゲットを蒸発させて、ターゲットの蒸発原子が膨張する状態を生じさせ、膨張する領域と、膨張により不活性ガス領域中に生じた衝撃波または衝撃波がクラスター生成空間の壁に反射した反射衝撃波とにより、それらの混合領域であるクラスター生成領域を形成し、クラスター生成領域内でクラスターを生成させ、生成したクラスターをクラスター生成空間から外部空間に取り出すことを特徴とするクラスター生成方法。

F-Term (3)：

4K029CA03 ,  4K029DB20 ,  4K029DD03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• クラスター生成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-206418   Applicant：動力炉・核燃料開発事業団
• 特開平4-301072
  
• 特開昭63-176463