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J-GLOBAL ID：200903070014859873
ダイシング装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995142638
Publication number (International publication number)：1996316176
Application date： May. 17, 1995
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ウエハに形成されたチップを個々に分割する際に、ウエハ内における各チップの向きを判別することができるダイシング装置を提供すること。【構成】 ダイシングソー50を回転することにより、ウエハ41に形成されたチップ44を個々に分割するダイシング装置であり、ダイジング装置のダイシングソー50が片刃51である。
Claim (excerpt)：
ダイシングソーを回転することにより、ウエハに形成されたチップを個々に分割するダイシング装置において、ダイシングソーが片刃であることを特徴とするダイシング装置。
IPC (3)：
H01L 21/301
, B24D 5/12
, B28D 5/02
H01L 21/78 F
, B24D 5/12 Z
, B28D 5/02 A
