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J-GLOBAL ID：200903070016850571

検査・試験用プローブ装置とプローブ装置取付構造

Inventor： 鈴木 信昭
Applicant, Patent owner： 鈴木 信昭
Agent (1)： 森 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993186784
Publication number (International publication number)：1995049355
Application date： Jun. 29, 1993
Publication date： Feb. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明の目的は、プローブ装置のプローブ針密度の向上による装置の小型化への対応にある。【構成】 先端がL字状に屈曲され且つ前記屈曲端(4a)が先細状に尖ったプローブ針(4)と、前記複数本のプローブ針(4)をほぼ同方向に且つ屈曲端尖端(4b)を揃えて保持するプローブ取付ブロック(1)とで構成されたプローブ装置(A)において、屈曲端(4a)の長さ(H)(h)...の異なるプローブ針(4)が互いに隣り合うように順次配列され、屈曲端の長さ(h)が短いプローブ針(42)のプローブ取付ブロック(1)への取付位置が、屈曲端の長さ(H)が長いプローブ針(41)のプローブ取付ブロック(1)への取付位置より下方に位置するようにして前記取付位置が複数層となるように配列した事を特徴とする。

Claim (excerpt)：

先端がL字状に屈曲され且つ前記屈曲端が先細状に尖ったプローブ針と、前記複数本のプローブ針をほぼ同方向に且つ屈曲端尖端を揃えて保持するプローブ取付ブロックとで構成されたプローブ装置において、屈曲端の長さの異なるプローブ針が互いに隣り合うように順次配列され、屈曲端の長さが短いプローブ針のプローブ取付ブロックへの取付位置が、屈曲端の長さが長いプローブ針のプローブ取付ブロックへの取付位置より下方に位置するようにして前記取付位置が複数層となるように配列した事を特徴とする検査・試験用プローブ装置。

IPC (4)：

G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66