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J-GLOBAL ID：200903070018957187

回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法

Inventor： ウィリアム・シー・ダン
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 池内 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992301709
Publication number (International publication number)：1993248875
Application date： Oct. 14, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高感度、小型かつコスト効率のよい回転振動ジャイロスコープを提供する。【構成】 ロータ(12)は中央装着ポスト(15)にらせん形スプリング(22A,22B)によって固定されてポスト(15)の回りに揺動的回転運動を行う。ポスト(15)はZ軸を規定し、かつロータに隣接する検出容量(30,31,32,33)はXおよびY軸を規定する。ロータ、らせん形スプリングおよびポストは単一の半導体処理工程において多結晶シリコンによって形成される。

Claim (excerpt)：

回転振動ジャイロスコープであって、ベース(20)に固定的に取付けられかつ第1の軸を規定する装着ポスト(15)、前記ポストに垂直な面に配置された質量部材(12)、一端において前記ポスト(15)に取付けられかつ多端において前記質量部材(12)に取付けられ、かつ前記質量部材(12)を前記ポスト(15)の回りに揺動的回転運動のために装着するばね(22A,22B)、前記質量部材(12)に隣接して装着され前記質量部材を前記第1の軸の回りに揺動的回転運動させるための揺動的運動駆動装置(25,26,27)、そして前記質量部材に隣接して配置されかつ互いにかつ前記第1の軸に対して互いに垂直な第2および第3の軸を規定し、前記第2の軸の回りの前記ジャイロスコープの運動に応じて前記第3の軸の回りの前記質量部材(12)の運動を検出するための検出装置(30,31,32,33)、を具備することを特徴とする回転振動ジャイロスコープ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭58-221109
  
• 特開昭62-093668