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J-GLOBAL ID：200903070082228580

電子線光学装置

Inventor： 木村 浩二 ,  小池 紘民
Applicant, Patent owner： 株式会社トプコン
Agent (1)： 三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997236505
Publication number (International publication number)：1999067130
Application date： Aug. 18, 1997
Publication date： Mar. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】軸外収差を補正し、電子線光学装置の分解能を向上させると共に試料の損傷を防止する。【解決手段】静電磁界複合対物レンズ(減速場)を持つ走査型電子顕微鏡に於いて、少なくともつ1つの偏向系5を有し、該偏向系により偏向された電子線の偏向軌道3に対応して対物レンズ7近傍に補正偏向磁場と補正偏向電場を重合わせ、補正偏向磁場、補正偏向電場により軸外収差を補正し、高分解能を実現し、更に減速場を形成することで高い加速電圧を用い而も試料の損傷を抑制する。

Claim (excerpt)：

静電磁界複合対物レンズ(減速場)を持つ走査型電子顕微鏡に於いて、少なくとも1つの偏向系を有し、該偏向系により偏向された電子線の偏向軌道に対応して対物レンズ近傍に補正偏向磁場と補正偏向電場を重合わせたことを特徴とする電子線光学装置。

IPC (3)：

H01J 37/153 ,  H01J 37/145 ,  H01J 37/22 502

FI (3)：

H01J 37/153 B ,  H01J 37/145 ,  H01J 37/22 502 A