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J-GLOBAL ID：200903070094355285

セラミツクス薄膜の製造方法

Inventor： 佐藤 馨一 ,  中村 雅一 ,  代々城 新一 ,  光吉 裕介
Applicant, Patent owner： 東洋インキ製造株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991183908
Publication number (International publication number)：1993009010
Application date： Jun. 28, 1991
Publication date： Jan. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、セラミックスの前駆体であるような金属化合物とアルコキシドとの混合物あるいは反応物などから、焼結あるいは粉砕という工程によりセラミックス粉末を得ることなく、該前駆体であるような材料から基材上に直接セラミックス薄膜を製造する方法を提供することにある。【構成】セラミックスの前駆体、例えばマグネシウムエトキシドとシュウ酸アルミニウムとの混合物あるいは加水分解生成物から熱プラズマスプレイにより、直接基材上に、酸化アルミニウムマグネシウム(スピネル)薄膜を形成する。

Claim (excerpt)：

(I)1種類以上の金属元素を有するアルコキシドを除く、金属化合物、(II)1種類以上の金属元素を有するアルコキシド、(I)と(II)との混合物および/または(I)と(II)との反応物を熱プラズマにより基材上に直接溶射し、セラミックス膜とすることを特徴とするセラミックス薄膜の製造方法。

IPC (5)：

C01B 13/14 ,  C01F 7/16 ,  C01F 7/30 ,  C01F 17/00 ,  C01G 1/02