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J-GLOBAL ID：200903070140551825

X線タルボ干渉計に用いられる位相型回折格子と振幅型回折格子の製造方法

Inventor：
服部 正

About 服部 正


Applicant, Patent owner：
財団法人新産業創造研究機構

About 財団法人新産業創造研究機構


Agent (2)： 梶 良之 ,  須原 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005076921
Publication number (International publication number)：2006259264
Application date： Mar. 17, 2005
Publication date： Sep. 28, 2006
Summary：
【課題】 X線タルボ干渉計に用いられるX線位相型回折格子及びX線振幅型回折格子の製造方法を提案する。【解決手段】 両回折格子11・12とも、金属製の幅2μm以上10μm以下のX線吸収部111・121を2μm以上10μm以下で等間隔に並べた構成とし、X線吸収部111・121の幅w1,w2及び間隔g1,g2は、X線位相型回折格子とX線振幅型回折格子とで同一とする(w1=w2,g1=g2)。位相型回折格子11の厚みt1を1μm以上5μm以下に構成し、振幅型回折格子12の厚みt2を25μm以上100μm以下に構成する。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
X線タルボ干渉計に用いられる位相型回折格子と振幅型回折格子の製造方法であって、 両回折格子とも、金属製の幅2μm以上10μm以下のX線吸収部を2μm以上10μm以下の等間隔で並べた構成とし、X線吸収部の幅及び間隔は、位相型回折格子と振幅型回折格子とで同一とし、 位相型回折格子の厚みを1μm以上5μm以下に構成し、振幅型回折格子の厚みを25μm以上100μm以下に構成することを特徴とする、 位相型回折格子と振幅型回折格子の製造方法。
IPC (1)：
G02B 5/18
FI (1)：
G02B5/18
F-Term (6)：
2H049AA02 ,  2H049AA03 ,  2H049AA37 ,  2H049AA44 ,  2H049AA46 ,  2H049AA58
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (11)
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Cited by examiner (1)

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