ナノカーボンエミッタ及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：平山一幸 , 篠田哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005112863
Publication number (International publication number)：2006294387
Application date： Apr. 08, 2005
Publication date： Oct. 26, 2006
Summary：

【課題】ナノカーボン先端の電界強度を大きくすることができ、従ってナノカーボン特有の優れた高電流密度耐性や高電界耐性を生かすことができるナノカーボンエミッタと、その製造方法を提供する。【解決手段】基体7と絶縁層8とゲート電極層9とが順次積層され、ゲート電極層9及び絶縁層8を設けた基体7に達する開口部5が設けられ、開口部5内の基体7を開口に向かってメサ形状に突出させたエミッタ下地層6を有し、エミッタ下地層6上にナノカーボン10を有する。エミッタ下地層6の高さを高くすることによって、ナノカーボン10先端の電界強度を大きくする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基体と絶縁層とゲート電極層とが順次積層された積層構造を有し、この積層構造の所定の位置に基体に達する開口部を有し、この開口部内の上記基体上に、ナノカーボンを有するナノカーボンエミッタにおいて、開口部内の基体を開口に向かってメサ形状に突出させた、エミッタ下地層を有することを特徴とする、ナノカーボンエミッタ。

IPC (2)：

H01J 9/02 , H01J 1/304

FI (2)：

H01J9/02 B , H01J1/30 F

F-Term (28)：

5C127AA01 , 5C127AA04 , 5C127AA05 , 5C127AA20 , 5C127BA09 , 5C127BA15 , 5C127BB05 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127CC10 , 5C127DD09 , 5C127DD56 , 5C127DD79 , 5C127DD99 , 5C127EE02 , 5C127EE07 , 5C127EE12 , 5C127EE15 , 5C135AA09 , 5C135AA15 , 5C135AB05 , 5C135AB07 , 5C135AC03 , 5C135AC28 , 5C135GG02 , 5C135HH02 , 5C135HH12 , 5C135HH15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

カーボンナノチューブを表面に有する炭素質物及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-025037 Applicant：工業技術院長
ナノカーボンの精製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-375013 Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構, 積水化学工業株式会社
有機液体による高配向整列カーボンナノチューブの合成方法及びその合成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-193629 Applicant：科学技術振興事業団, 独立行政法人物質・材料研究機構

Cited by examiner (5)

電子放出源およびその製造方法ならびにディスプレイ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-092280 Applicant：ソニー株式会社
電界放射型電子源の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-078538 Applicant：松下電器産業株式会社
電子放出源及びその製造方法及び表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-206554 Applicant：ソニー株式会社

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