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J-GLOBAL ID：200903070185773632

ステージ装置およびこれを用いた露光装置

Inventor： 瀧澤 直樹
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996318827
Publication number (International publication number)：1998144603
Application date： Nov. 14, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ウエハステージ等を非接触で支持する静圧軸受装置に過大なモーメント負荷がかかるのを防ぐ。【解決手段】 ウエハステージ3の一対のリニアモータは、それぞれリニアモータドライブ11,12によって制御される。一対の変位センサ8,9の出力の加算値と減算値をそれぞれ第1、第2の制御系M1 ,M2 によって両リニアモータドライブ11,12にフィードバックすることで、ウエハステージ3の位置と姿勢を制御する。ウエハステージ3のガイドに曲がり等の形状誤差があると、第2の制御系M2 が飽和状態になるため、これを、飽和検出器25によって検出し、目標角度信号P2 を更新する。

Claim (excerpt)：

案内手段に沿って往復移動自在である移動台と、これを移動させる複数のモータからなる駆動手段と、前記移動台の位置を検出する位置計測系と、その出力に基づいて前記駆動手段を制御する第1の制御系と、前記移動台の姿勢を検出する姿勢検出系と、その出力に基づいて前記駆動手段を制御する第2の制御系と、該第2の制御系の飽和を検出する飽和検出手段を有し、前記第2の制御系が、その目標値を前記飽和検出手段の出力に基づいて更新するように構成されていることを特徴とするステージ装置。

IPC (6)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12 305 ,  H01L 21/68 ,  B23Q 15/22

FI (7)：

H01L 21/30 502 J ,  G03F 9/00 H ,  G05D 3/00 A ,  G05D 3/12 305 Z ,  H01L 21/68 K ,  B23Q 15/22 ,  H01L 21/30 515 G