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J-GLOBAL ID：200903070196291613

被検面の測定方法及び装置

Inventor： 露崎 晋
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 瀧野 秀雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994014418
Publication number (International publication number)：1995218233
Application date： Feb. 08, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】 測定面7aと参照面6aとに光源1からの可干渉光を照射して干渉縞を作り、測定面を回転軸12方向に走査して干渉縞上の観測点における縞の反転回数をカウントし、測定面の面形状や面精度を測定する際に、干渉縞像のどの位置で縞の数をカウントするかが明確に認識できる測定方法及び装置を提供する。【構成】 参照波と被検波とが重なり、平行な光束になる位置にフィルタ16を置き、このフィルタに開口C1 〜Cmを開ける。干渉縞像は結像面17に置かれたセンサ13上に開口C1 〜Cmに対応するスポット像として結像する。センサ13としてラインセンサを設け、スポット像の結像される素子の出力の反転回数をカウントする。予め決められた開口の位置で測定するので、どの位置か明確に知ることができる。

Claim (excerpt)：

同一光源からの可干渉光を被検面と基準になる参照面とに照射し、これら両面から反射される参照波と被検波とを平行な光束に重畳した後干渉縞像を結像させる工程と、被検面を移動して連続的に前記干渉縞像を形成する工程と、前記干渉縞像上で、干渉縞の位相差がほぼnπ/2(nは自然数)離れた2以上の観測点における干渉縞の明暗の反転回数をカウントする工程と、該カウント数と各観測点における明暗の反転するタイミングのずれとから被検面の光軸方向の変位方向と変位量とを算出する工程と、を有する被検面の測定方法において、前記参照波と被検波とが重畳した平行光束中にスクリーンを設け、該スクリーンに開口を形成して前記各観測点に向かう光束のみを通過させることを特徴とする被検面の測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02 ,  G01M 11/00