透明導電性材料およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000303230
Publication number (International publication number)：2002114598
Application date： Oct. 03, 2000
Publication date： Apr. 16, 2002
Summary：

【要約】【課題】プラスチックような耐熱性の低い基材上に対しても、ガラス基板上とほぼ同様に、特性の優れたZnO系透明導電膜を形成できる方法および透明導電性材料を提供する。【解決手段】基材の片面に種結晶層を形成し、この種結晶層の上に酸化亜鉛層をを形成するという2段階の成膜プロセスを経て得られる透明導電性材料。

Claim (excerpt)：

基材の片面に種結晶層を形成し、この種結晶層の上に酸化亜鉛層を設けた構成の透明導電膜を有する透明導電性材料。

IPC (6)：

C30B 29/16 , C23C 14/08 , C23C 16/40 , H01B 5/14 , H01B 13/00 503 , H01L 31/04

FI (6)：

C30B 29/16 , C23C 14/08 C , C23C 16/40 , H01B 5/14 A , H01B 13/00 503 B , H01L 31/04 M

F-Term (60)：

4G077AA03 , 4G077BB07 , 4G077DA01 , 4G077DA11 , 4G077DB01 , 4G077DB08 , 4G077EB10 , 4G077ED02 , 4G077ED06 , 4G077EH10 , 4G077HA05 , 4G077SA04 , 4G077SA07 , 4G077TA04 , 4G077TA07 , 4K029AA11 , 4K029BA41 , 4K029BA49 , 4K029BA51 , 4K029BB02 , 4K029BB08 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA05 , 4K029DC05 , 4K029DC34 , 4K029DC39 , 4K029EA08 , 4K030AA11 , 4K030AA14 , 4K030AA17 , 4K030AA20 , 4K030BA35 , 4K030BA47 , 4K030BA50 , 4K030BB03 , 4K030BB13 , 4K030CA07 , 4K030FA01 , 4K030HA01 , 4K030JA10 , 4K030LA01 , 4K030LA16 , 4K030LA18 , 5F051AA05 , 5F051CB27 , 5F051FA02 , 5F051FA08 , 5F051FA18 , 5F051FA19 , 5G307FA01 , 5G307FA02 , 5G307FB01 , 5G307FC03 , 5G323BB01 , 5G323BB02 , 5G323BB03 , 5G323BB04 , 5G323BB05 , 5G323BC03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

酸化亜鉛膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-065743 Applicant：富士電機株式会社
多結晶酸化薄膜の酸素最密充填面を用いたZnO薄膜電極構造体及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-339766 Applicant：三星電管株式會社
特開平4-104937

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