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J-GLOBAL ID：200903070263042585

光パターニングが可能な導電性樹脂

Inventor： 小澤 文幸 ,  片山 博之 ,  赤松 謙祐
Applicant, Patent owner： 関西ティー・エル・オー株式会社
Agent (1)： 小林 良平
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2004017090
Publication number (International publication number)：WO2005049688
Application date： Nov. 17, 2004
Publication date： Jun. 02, 2005
Summary：

本発明は、レジストを使用せずに直接パターニングすることが可能であって、ナノメートルオーダーのパターニングも可能な導電性樹脂を提供するためになされた。cis-ポリ(アリーレンビニレン)とtrans-ポリ(アリーレンビニレン)の比率が65/35以上であって、数平均分子量が1500〜30000であるポリ(アリーレンビニレン)(アリーレンは、アリーレン基及び複素環化合物基)から成る材料とする。この材料により作製された膜のパターニングは、所定の領域に200〜600nmの光を照射した後、芳香族系又はハロゲン系又はエーテル系の有機溶媒を用いて光の未照射部分を有機溶媒に溶出させることにより行うことが可能である。

Claim (excerpt)：

cis-ポリ(アリーレンビニレン)とtrans-ポリ(アリーレンビニレン)の比率が65/35以上であって、数平均分子量が1500〜30000であるポリ(アリーレンビニレン)(ただし、アリーレンは、アリーレン基以外に複素環化合物基も含む。)から成ることを特徴とする、光パターニングが可能な導電性樹脂。

IPC (5)：

C08G 61/00 ,  G03F 7/033 ,  H01B 1/12 ,  H01B 13/00 ,  H01L 51/50

FI (7)：

C08G61/00 ,  G03F7/033 ,  H01B1/12 Z ,  H01B13/00 503D ,  H05B33/14 B ,  H05B33/22 B ,  H05B33/22 D

F-Term (35)：

2H025AA19 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC06 ,  2H025BC63 ,  2H025BJ10 ,  3K107AA01 ,  3K107CC45 ,  3K107DD60 ,  3K107DD61 ,  3K107DD79 ,  3K107GG06 ,  3K107GG11 ,  4J032BA03 ,  4J032BA08 ,  4J032BA12 ,  4J032BA13 ,  4J032BA17 ,  4J032BA18 ,  4J032BA20 ,  4J032BB08 ,  4J032BB09 ,  4J032BC03 ,  4J032CA03 ,  4J032CA04 ,  4J032CA12 ,  4J032CB01 ,  4J032CB03 ,  4J032CB11 ,  4J032CB12 ,  4J032CC01 ,  4J032CD02 ,  4J032CG01 ,  5G323CA05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 半導体素子のパターン化方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-343225   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション