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J-GLOBAL ID：200903070268775840

酸化タングステン膜の成膜方法

Inventor： 宮崎 正美 ,  佐藤 一夫 ,  海老沢 純一
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996348616
Publication number (International publication number)：1998183334
Application date： Dec. 26, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】高い遮熱性を有し、面内における光学特性が均一な酸化タングステン膜を安定して生産できる電波透過型熱線遮断膜の成膜方法の提供。【解決手段】基体上に酸化タングステン膜を成膜する方法において、タングステンからなるターゲットを用いて、二酸化炭素を含む雰囲気中でスパッタリングすることを特徴とする酸化タングステン膜の成膜方法。

Claim (excerpt)：

基体上に酸化タングステン膜を成膜する方法において、タングステンからなるターゲットを用いて、二酸化炭素を含む雰囲気中でスパッタリングすることを特徴とする酸化タングステン膜の成膜方法。