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J-GLOBAL ID：200903070286532253

カラー用固体撮像素子

Inventor： 濱本 辰雄 ,  久慈 卓見 ,  泉 章也 ,  金坂 和美 ,  渡辺 芳久 ,  中野 寿夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992154665
Publication number (International publication number)：1993347393
Application date： Jun. 15, 1992
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 半導体基板の主表面における層構造における層数を低減する。また製造工数を低減する。【構成】 半導体基板と、この半導体基板の主表面に形成された複数の光電変換素子と、これら各光電変換素子を露呈させて前記半導体基板表面に形成された遮光膜と、各光電変換素子のそれぞれを被って形成される所定の色のカラーフィルタが多層に形成されているカラー用固体撮像素子において、前記所定の色のうちg線の透過率の低い色のカラーフィルタを最下層に設けるとともに、この最下層のカラーフィルタはこのカラーフィルタを被う必要のない光電変換素子上に相当する領域に孔が設けられている以外に半導体基板の主表面のほぼ全面に形成されている。

Claim (excerpt)：

半導体基板と、この半導体基板の主表面に形成された複数の光電変換素子と、これら各光電変換素子を露呈させて前記半導体基板表面に形成された遮光膜と、各光電変換素子のそれぞれを被って形成される所定の色のカラーフィルタが多層に形成されているカラー用固体撮像素子において、前記所定の色のうちg線の透過率の低い色のカラーフィルタを最下層に設けるとともに、この最下層のカラーフィルタはこのカラーフィルタを被う必要のない光電変換素子上に相当する領域に孔が設けられている以外に半導体基板の主表面のほぼ全面に形成されていることを特徴とするカラー用固体撮像素子。

IPC (3)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  H04N 9/07