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J-GLOBAL ID：200903070295771902

被研磨物保持材

Inventor： 花之内 裕隆 ,  武田 昌信 ,  関 昌夫
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001104296
Publication number (International publication number)：2002301657
Application date： Apr. 03, 2001
Publication date： Oct. 15, 2002
Summary：

【要約】【課題】本発明は、研磨作業中の駆動用のギア部が破断しにくく、被研磨物の研磨面を傷つけない被研磨物保持材を提供せんとするものである。【解決手段】本発明の被研磨物保持材は、有機繊維からなる布帛と熱硬化性樹脂とからなるシート状物が積層された被研磨物保持材において、前記熱硬化性樹脂は前記有機繊維布帛に接合されており、かつ、硬化後の被研磨物保持材の厚みが0.5〜1.5mmであり、かつ、JIS K6911に準拠する3点曲げ試験において、少なくとも一方向の弾性率が2500〜5500N/mm2であることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

標準条件での引張強度が2〜12g/dである有機繊維からなる布帛と熱硬化性樹脂とからなるシート状物が積層された被研磨物保持材において、前記熱硬化性樹脂は前記有機繊維布帛に接合されており、かつ、硬化後の被研磨物保持材の厚みが0.5〜1.5mmであり、かつ、JIS K6911に準拠する3点曲げ試験において、少なくとも一方向の弾性率が2500〜5500N/mm2であることを特徴とする被研磨物保持材。

IPC (4)：

B24B 37/04 ,  C08J 5/04 CEZ ,  H01L 21/304 622 ,  C08L 87:00

FI (4)：

B24B 37/04 C ,  C08J 5/04 CEZ ,  H01L 21/304 622 G ,  C08L 87:00

F-Term (17)：

3C058AA07 ,  3C058AA18 ,  3C058AB04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB06 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17 ,  4F072AA07 ,  4F072AB02 ,  4F072AB05 ,  4F072AB28 ,  4F072AB29 ,  4F072AB30 ,  4F072AB31 ,  4F072AD23 ,  4F072AG03 ,  4F072AL09