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J-GLOBAL ID：200903070353804387

ウェハ貼着用粘着シート

Inventor： 小宮山 幹 夫 ,  細 野 茂 ,  田 口 克 久 ,  江 部 和 義
Applicant, Patent owner： リンテック株式会社
Agent (1)： 鈴木 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993184703
Publication number (International publication number)：1995086212
Application date： Jul. 27, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【構成】 基材面上に、粘着剤と放射線重合性オリゴマーとからなる放射線硬化型粘着剤層が形成されてなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、該放射線硬化型粘着剤層中において、該放射線重合性オリゴマーが、1〜30μmの分散粒径を有し、かつ均一に分散されてなることを特徴とする。【効果】 放射線照射後には、粘着シートの粘着力が大きく低下し、容易にウェハチップを該粘着シートからピックアップすることができる。またある程度の弾性率が維持されるため、エキスパンディング工程において、所望のチップ間隔を得ることが容易になり、かつチップ体のズレ等も発生せず、ピックアップを安定して行えるようになる。

Claim (excerpt)：

基材面上に、粘着剤と放射線重合性オリゴマーとからなる放射線硬化型粘着剤層が形成されてなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、該放射線硬化型粘着剤層中において、該放射線重合性オリゴマーが、1〜30μmの分散粒径を有し、かつ均一に分散されてなることを特徴とするウェハ貼着用粘着シート。

IPC (5)：

H01L 21/301 ,  C09J 7/02 JJR ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JKE ,  C09J 7/02 JLE

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-305808
  
• 特開昭63-193981
  
• 特開昭62-153376