表面形状の評価方法および評価装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩壁冬樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998192393
Publication number (International publication number)：1999148813
Application date： Jun. 23, 1998
Publication date： Jun. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】表面形状における歪み等をさらに精度よく検出したい。【解決手段】面光源1は、周期的な明暗を有するパターンをガラス2に照射する。ガラス2を透過したパターンはCCDカメラ3で撮像され、信号処理装置4は、撮像における明暗周期のずれ(ガラス2に照射されたパターンにおける明暗周期に対するずれ)にもとづいてガラス2の表面形状を評価する。

Claim (excerpt)：

周期的な明暗を有するパターンを被評価物体に照射し、前記被評価物体を透過したパターンまたは反射したパターンを受光し、前記被評価物体に照射されたパターンにおける明暗周期に対する受光画像における明暗周期のずれにもとづいて前記被評価物体の表面形状を評価する表面形状の評価方法。

IPC (3)：

G01B 11/30 , G01B 11/30 101 , G01B 11/24

FI (3)：

G01B 11/30 C , G01B 11/30 101 A , G01B 11/24 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-050714
特開平2-285208
特開昭59-023205

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