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J-GLOBAL ID：200903070365125310
電気抵抗式湿度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
関根 光生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997056968
Publication number (International publication number)：1998239264
Application date： Feb. 25, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】 湿度センサと完全に同一材質を湿度不感構造となし、おん度補正用おん度センサとすることにより、おん度補正を行う線形特性を有する湿度センサは存在しなかった。【解決手段】 線形特性を有するウッドセラミックス基板に電極を形成してなる湿度センサと、前記ウッドセラミックスと同一特性のウッドセラミックス基板に電極を形成するとともに、非吸湿性材質で表面に被膜を形成してなるおん度補正用おん度センサとからなり、湿度センサにより測定した抵抗値をおん度センサにより測定した抵抗値によって補正し、相対湿度に比例した出力電圧を得ることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
ウッドセラミックス基板に電極を形成してなる湿度センサと、前記ウッドセラミックスと同一特性のウッドセラミックス基板に電極を形成するとともに、非吸湿性材質で表面に被膜を形成してなるおん度補正用おん度センサとからなり、湿度センサにより測定した抵抗値を湿度センサと同一おん度係数を有するおん度センサにより測定した抵抗値によって補正し、相対湿度に比例した出力電圧を得ることを特徴とする電気抵抗式湿度センサ。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 27/12 P
, G01N 27/04 L
, G01N 27/04 B
