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J-GLOBAL ID：200903070377929180
スペクトル干渉顕微鏡及び該顕微鏡を用いた表面形状測定方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
三好 秀和 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997248152
Publication number (International publication number)：1999083457
Application date： Sep. 12, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：
【要約】【課題】 装置の大型化及び複雑化を伴うことがなく安価であると共に、操作が容易で、高い分解能が得られること。【解決手段】 光源4からの出射光をビームスプリッタ5で分割して試料面2aと参照面3aとに照射すると共に前記両面でそれぞれ反射する反射光の重ね合わせにより複数の干渉縞を形成する干渉計光学系Aと、前記干渉縞を光学顕微鏡8を介して光検出器9で観察する顕微鏡光学系Bとを備えたスペクトル干渉顕微鏡1において、干渉計光学系Aが、光源4として白色光源を用いると共に、該白色光源とビームスプリッタ5との間に白色光源の発する光を電圧の変化により波長の異なる複数の単色光に選択して出射することができる電圧制御可変波長フィルタ6を設けて構成し、同フィルタ6の印加電圧を制御して波長を走査した。
Claim (excerpt)：
光源からの出射光をビームスプリッタで分割して試料面と参照面とに照射すると共に前記両面でそれぞれ反射する反射光の重ね合わせにより複数の干渉縞を形成する干渉計光学系と、前記干渉縞を光学顕微鏡を介して光検出器で観察する顕微鏡光学系とを備えたスペクトル干渉顕微鏡において、前記干渉計光学系が、前記光源として白色光源を用いると共に、該白色光源と前記ビームスプリッタとの間に前記白色光源の発する光を電圧の変化により波長の異なる複数の単色光に選択して出射することができる電圧制御可変波長フィルタを設けて構成されていることを特徴とするスペクトル干渉顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
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