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J-GLOBAL ID：200903070389622269

ホログラム素子製造方法、ホログラム素子および光ピックアップ装置

Inventor：
竹森 浩俊

About 竹森 浩俊


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社


Agent (1)： 西教 圭一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001054302
Publication number (International publication number)：2002258725
Application date： Feb. 28, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：
【要約】【課題】 従来の製造方法をそのまま用いて、その製造方法にわずかな改良を加えることによって、量産性を損なうことなく高精度で所望のホログラム素子を製造する方法、および前記方法によって製造されたホログラム素子を提供することを目的とする。【解決手段】 ホログラム素子のホログラムの各領域にホトリソグラフィー法で回折格子を形成するときに、各領域の回折格子の1次回折効率を測定して、各回折格子のデューティー比を算出し、このデューティー比に基づいて露光量を決定し、1次回折効率比および露光量が所定の値になるようにホログラム素子を製造する。
Claim (excerpt)：
少なくとも2つの領域に分割され、各領域に回折格子が形成されるホログラムを有する多分割ホログラム素子の製造方法において、各領域における回折格子の格子間隔と溝の開口幅との比であるデューティー比、および各領域の1次回折効率の比である1次回折効率比が、それぞれ所定の値の範囲になるように製造することを特徴とするホログラム素子製造方法。
IPC (6)：
G03H 1/04 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/26 ,  G11B 7/135
FI (6)：
G03H 1/04 ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/26 ,  G11B 7/135 A ,  G02B 1/10 A
F-Term (32)：
2H049AA25 ,  2H049AA33 ,  2H049AA40 ,  2H049AA51 ,  2H049AA57 ,  2H049AA64 ,  2H049AA65 ,  2H049CA08 ,  2H049CA15 ,  2H049CA20 ,  2H049CA28 ,  2K008AA04 ,  2K008BB01 ,  2K008BB04 ,  2K008BB08 ,  2K008CC03 ,  2K008DD12 ,  2K008HH19 ,  2K009AA05 ,  2K009CC03 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119CA09 ,  5D119JA03 ,  5D119JA04 ,  5D119JA13 ,  5D119JA14 ,  5D119JA22 ,  5D119JA23 ,  5D119JA65 ,  5D119LB07 ,  5D119NA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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