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J-GLOBAL ID：200903070390385386

空間光変調器の製造方法

Inventor： ラリイ ジエイ.ホーンベツク
Applicant, Patent owner： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
Agent (1)： 浅村 皓 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992187099
Publication number (International publication number)：1993188309
Application date： Jul. 30, 1985
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、構成の撓むことができるはりを持つ空間光変調器の新規な製法方法を提案することを目的とする。【構成】 この発明の製造方法は、基板上へ導電性の支持柱を立て、基板及び支持柱の上にスペーサ層をデポジットし、支持柱の上方の部分を除きスペーサ層の上に反射層をデポジットし、支持柱の上方の部分のスペーサ層を除去して支持柱の頭部を露出させ、その頭部と反射層とをはり材料で連結し、スペーサ層を除去する工程からなる。

Claim (excerpt)：

空間光変調器の製造方法であって、(a) 導電基板の上へ導電材料製の支持柱を形成し、(b) 前記基板及び支持柱の上にスペーサ層をデポジットし、(c) 前記支持柱の上方の部分を除き前記スペーサ層の上に反射層をデポジットし、(d) 前記支持柱の上方の部分のスペーサ層を除去して前記支持柱の頭部を露出させ、(e) 前記支持柱の頭部と前記反射層とをはり材料で連結し、(f) 前記スペーサ層を除去する工程から成る空間光変調器の製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭57-126164
  
• 特開昭51-022373