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J-GLOBAL ID：200903070403535013

光ディスクの成形金型とその製造方法

Inventor： 加藤 恵三 ,  奥平 定之 ,  堀籠 信吉
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992033158
Publication number (International publication number)：1993234153
Application date： Feb. 20, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】良好な情報パターンが形成された高品質の光ディスク基板を得るのに好適な高品質のスタンパである光ディスクの成形金型とその製造方法を提供する。【構成】光ディスクの成形金型は、Niめっき膜4上に薄膜3を形成した鏡面のスタンパ上にホトレジスト5を形成し、情報パターン8をホトレジストに形成後、ドライエッチングすることにより得られる。【効果】光ディスクの成形金型の凹凸の情報パターンはドライエッチングで形成するので、処理条件に変動があっても光ディスクの成形金型の表面は汚染されることがなく、欠陥は減少し、高品質の光ディスク基板を安定に得ることができる。

Claim (excerpt)：

光ディスク基板を作製する時のスタンパにおいて、前記スタンパがNi膜と薄膜とから構成され、前記薄膜が10/106(1/°C)以下の線膨張係数からなる金属またはその合金を形成し、前記薄膜に凹凸の情報パターンを形成したことを特徴とする光ディスクの成形金型。

IPC (4)：

G11B 7/26 511 ,  B29C 33/38 ,  C25D 1/00 321 ,  B29L 17:00