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J-GLOBAL ID：200903070420036098

位置決め装置並びにデバイス製造装置及び方法

Inventor： 山根 幸男 ,  小山内 英司 ,  堆 浩太郎
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995036946
Publication number (International publication number)：1996229759
Application date： Feb. 24, 1995
Publication date： Sep. 10, 1996
Summary：

【要約】【目的】 駆動中の振動連や大きな振動を発生することがなく、位置決めの高速化が容易であり、摩擦や摩耗がなく位置の再現性が極めて良好であり、高精度で且つ安定した位置決めが容易であり、メンテナンスを殆どまたは全く必要としない位置決め装置を提供する。【構成】 ウエハを保持する保持板4を定盤55に対してXYZの各軸方向とXYZの各軸廻りの回転方向のそれぞれに移動する位置決め装置において、XYZの各軸方向とXYZの各軸廻り方向の案内手段のそれぞれを非接触な静圧軸受53a〜dとする。

Claim (excerpt)：

基板を保持する保持面を定盤に対してXYZの各軸方向とXYZの各軸廻りの回転方向のそれぞれに移動する位置決め装置において、XYZの各軸方向とXYZの各軸廻り方向の案内手段のそれぞれが非接触な静圧軸受であることを特徴とする位置決め装置。

IPC (5)：

B23Q 1/38 ,  F16C 32/06 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/30 ,  H01L 21/027

FI (6)：

B23Q 1/26 E ,  F16C 32/06 B ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 位置決め装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-077737   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平3-245932
  
• 特開平1-188241
  
• 特開平3-245932
  
• 特開平1-188241