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J-GLOBAL ID：200903070449559430

弾性表面波素子とその製造方法および弾性表面波素子用基板

Inventor： 岩本 修 ,  三井 雄治 ,  北村 文孝 ,  黒沢 龍一 ,  浜 友文
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992184979
Publication number (International publication number)：1993199062
Application date： Jul. 13, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】 弾性表面波素子の周波数変化を極めて小さくするアルミニウム電極を提供すること、また該弾性表面波素子を容易に製造する方法、及び弾性表面波素子用圧電体基板を提供することにある。【構成】 本発明の弾性表面波素子はアルミニウム単結晶膜よりなる電極を具備する。該アルミニウム単結晶膜は弾性表面波素子に使用される単結晶圧電体基板の表面を微小な半球状の島が均一に存在する島状構造にすることにより、蒸着法やスパッタリング法を用いて簡便に形成することができる。

Claim (excerpt)：

圧電体基板上にアルミニウム電極を形成してなる弾性表面波素子において、該アルミニウム電極が単結晶膜であることを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (3)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25