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J-GLOBAL ID：200903070453958128
集積型AFMセンサー
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992115899
Publication number (International publication number)：1993312562
Application date： May. 08, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明は、カンチレバーのねじれを検出することによって、試料の表面形状を高い分解能で測定することができる集積型AFMセンサーを提供する。【構成】集積型AFMセンサーには、カンチレバー部28のビーム部30に夫々設けられた複数系統のピエゾ抵抗層12の抵抗値の変化をこれらピエゾ抵抗層12に流れる電流の変化から検出する複数系統の抵抗変化検出回路36、38と、これら抵抗変化検出回路36、38から出力された信号に演算を施してカンチレバー部28の“反り”及び“ねじれ”を示す信号を出力する信号処理回路40とを備えている。
Claim (excerpt)：
測定試料の表面形状に対応して変位するカンチレバー部に設けられ、このカンチレバー部の変位に対応して抵抗値が変化する複数系統のピエゾ抵抗層と、これら複数系統のピエゾ抵抗層の抵抗値変化を検出する検出回路と、この検出回路から出力された信号に所定の演算を施して、前記カンチレバー部の変位を検出する信号処理回路と、を備える集積型AFMセンサー。
IPC (3)：
G01B 21/30
, H01J 37/28
, G01B 7/34
