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J-GLOBAL ID：200903070482080948
焦点検出装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992158125
Publication number (International publication number)：1994003578
Application date： Jun. 17, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：
【要約】【目的】本発明は、被検体の表面形状に影響されることなく、高精度に合焦制御を行うことができる焦点検出装置を提供する。【構成】本発明は、レーザーダイオード23から出射されたレーザービームによって照明された被検体39の表面41から反射した反射光を2分割受光素子49に集光させ、この2分割受光素子によって受光された光量に基づいて焦点検出を行う焦点検出装置に設けられており、被検体39の表面41から反射した反射光のうち、焦点検出に有害な反射光のみを遮光する制限エッジ45を備える。
Claim (excerpt)：
光源から出射された照明光によって照明された被検体の表面から反射した反射光を分割受光素子に集光させ、この分割受光素子によって受光された光量に基づいて焦点検出を行う焦点検出系と、この焦点検出系に設けられ、前記被検体の表面から反射した反射光のうち、焦点検出に有害な反射光のみを遮光する制限エッジと、を備えることを特徴とする焦点検出装置。
IPC (2)：
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