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J-GLOBAL ID：200903070505979056

基板外観検査装置

Inventor： 土坂 新一
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992158126
Publication number (International publication number)：1994003278
Application date： Jun. 17, 1992
Publication date： Jan. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】本発明は、被検査基板の表面全体に斑なくP偏光又はS偏光の照明光を選択的に照射して、S/N比の高い基板観察を行うことができる基板外観検査装置を提供する。【構成】被検査基板1の表面にP偏光又はS偏光の照明光を照射する照射手段3と、被検査基板1を保持する保持手段5と、この保持手段5を照明光軸を含み被検査基板1に垂直な面内で回動させる傾斜機構7とを備える。照射手段3は、照明光を発光する光源9と、この光源9から発光された照明光を集束させるフレネルレンズ11と、このフレネルレンズ11を介して導光された照明光に対して選択的にP偏光又はS偏光の光学的特性を与えて基板表面に照明する第1の偏光板13とを備え、また、保持手段5には、被検査基板1を透過した照明光を消光させる第2の偏光手段19が設けられている。

Claim (excerpt)：

被検査基板を照明するための照明光を発光する光源と、この光源から発光した前記照明光を前記被検査基板に対しP偏光又はS偏光に選択的に変換する第1の偏光手段と、この第1の偏光手段を介して偏光が施された前記照明光の光路中に前記被検査基板を保持する保持台と、前記保持台を前記照明光軸を含み前記被検査基板に垂直な面内で回動させる傾斜機構と、を備えることを特徴とする基板外観検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭57-054803
  
• 特開平4-042945
  
• 特開平1-263540
  
• 特開昭59-231402