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J-GLOBAL ID：200903070509163891
イオン照射装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993204277
Publication number (International publication number)：1995057682
Application date： Aug. 18, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：
【要約】【構成】 イオン注入装置は、マイクロ波型イオン源と、このイオン源を制御してフルオートでビーム電流調整を行うビーム電流コントローラ2とを有する。ビーム電流コントローラ2においては、先ず、第1調整手段21が、マイクロ波電源の出力パワーを制御してマグネトロンの出力電力を調整し、このとき、限界判断手段22がマグネトロンの出力が限界最低値になったと判断すれば、次に、第2調整手段23が、スタブ9を制御して導波管のインピーダンスを調整し、インピーダンス不整合によって導波管内に反射波を生じさせることにより、プラズマチャンバに入射されるマイクロ波電力を調整する。【効果】 リニアなビーム電流調整が可能となり、フルオートによる微小ビーム電流調整に要する時間を短縮できる。
Claim (excerpt)：
プラズマを生成するためのプラズマチャンバと、マイクロ波を発生するマイクロ波発生手段と、上記マイクロ波発生手段から出力されたマイクロ波を上記プラズマチャンバへ導く導波管と、上記導波管のインピーダンスを変化させることによって導波管のインピーダンスとプラズマチャンバ側のインピーダンスとの間のインピーダンス整合をとるインピーダンス整合手段とを有し、イオンビームを生成するマイクロ波型イオン源と、マイクロ波発生手段の出力するマイクロ波電力を調整する第1調整手段と、マイクロ波発生手段の出力するマイクロ波電力が限界最低値になったか否かを判断する限界判断手段とを有し、上記マイクロ波型イオン源の動作を制御することにより、マイクロ波型イオン源から引き出されるイオンビームの電流を調整するビーム電流調整手段とを備えているイオン照射装置において、プラズマチャンバ側のインピーダンスを測定するプラズマインピーダンス測定手段を備え、上記ビーム電流調整手段は、上記判断手段がマイクロ波発生手段の出力するマイクロ波電力が限界最低値になったと判断したとき、上記プラズマインピーダンス測定手段の測定値に基づいて、上記インピーダンス整合手段を制御して導波管のインピーダンスを調整し、導波管のインピーダンスとプラズマチャンバ側のインピーダンスとの間のインピーダンス不整合によって導波管内に反射波を生じさせることにより、プラズマチャンバに入射されるマイクロ波電力を調整する第2調整手段を有していることを特徴とするイオン照射装置。
IPC (5)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01J 27/16
, H01J 37/08
, H01L 21/265
