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J-GLOBAL ID：200903070511997538

コンタクタ及びその製造方法

Inventor：
佐藤 尚

About 佐藤 尚


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 小原 肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998331944
Publication number (International publication number)：2000150598
Application date： Nov. 07, 1998
Publication date： May. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 プローブ端子の本数が急激に増加しプローブ端子間が狭ピッチ化して来ると、プローブ端子の基板への取付作業が益々難しくなり、手作業による取付作業が限界に近くなって来ている。しかもプローブ端子がタングステンワイヤの場合には取付構造上の制約もあって被検査体の検査用電極のレイアウトに対して柔軟に対応することが難しい。【解決手段】 本発明のコンタクタ1は、ウエハW全面に複数形成された検査用電極とこれらに対応するプローブ端子3とをそれぞれ接触させ、ウエハWに形成された複数のICチップの電気的特性検査を行うコンタクタであって、シリコン基板2と、この表面に各プローブ端子3をそれぞれ挿着するために形成されたビアホール9と、これらのビアホール9の内周面を被覆する導電性膜層10と、これらの導電性膜層10と導通自在に形成された配線パターン4とを備えたことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
被検査体全面に複数形成された検査用電極とこれらに対応するプローブ端子とをそれぞれ接触させ、上記被検査体に形成された回路素子の電気的特性検査を行うコンタクタであって、コンタクタ用基板と、このコンタクタ用基板表面に上記各プローブ端子をそれぞれ挿着するために形成された端子用孔と、これらの端子用孔の内周面を被覆する導電性膜層と、これらの導電性膜層と導通自在に形成された配線膜層とを備えたことを特徴とするコンタクタ。
IPC (2)：
H01L 21/66 ,  G01R 1/073
FI (2)：
H01L 21/66 B ,  G01R 1/073 D
F-Term (11)：
2G011AA17 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AE03 ,  4M106AA02 ,  4M106DD01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD04 ,  4M106DD11 ,  4M106DJ01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)
  • 導電性接触子構造
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-304058   Applicant：日本発条株式会社

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