ウエハチャック

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：船橋國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995136375
Publication number (International publication number)：1996330401
Application date： Jun. 02, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】ウエハのパーティクル付着、うねりをなくし、ウエハ清浄度及びウエハ精度の向上を図る。【構成】上面が吸着面31となる円盤状のチャック本体21と、このチャック本体21と同心円で吸着面に形成される真空排気用溝25と、縁部21aを除く吸着面31に形成され吸着面31を粗すことによりウエハの裏面を支持する多数の点状凸部が形成された粗面33とを具備してウエハチャック39を構成する。また、ウエハチャックは、真空排気用溝25に代えて、チャック本体21と同心円の円周上に等間隔で穿設された複数の真空排気用孔を具備するものであってもよい。

Claim (excerpt)：

上面が吸着面となる円盤状のチャック本体と、該チャック本体と同心円で前記吸着面に形成される真空排気用溝と、縁部を除く前記吸着面に形成され該吸着面を粗すことによりウエハの裏面を支持する多数の点状凸部が形成された粗面とを具備することを特徴とするウエハチャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 , B23Q 3/08 , B23Q 3/15

FI (3)：

H01L 21/68 P , B23Q 3/08 A , B23Q 3/15 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

静電力低減のためのパターン付きサセプタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-120230 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
特開昭56-153741
特開昭60-099538

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