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J-GLOBAL ID：200903070518772531

感光性樹脂組成物および感光性フィルム

Inventor： 南 好隆 ,  溝井 武紀
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993239794
Publication number (International publication number)：1995092673
Application date： Sep. 27, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 感光性積層体を連続体のまま運搬し、保存しても、感光層と支持体との間に剥離が起こらず、優れた諸性能を有する感光性樹脂組成物および感光性フィルムを提供する。【構成】 (A)次の一般式(I)で示されるエチレン性不飽和化合物を3〜20重量部【化1】(式中、R1は水素原子またはメチル基を表し、R2は水素原子またはC1〜C4のアルキル基を表し、R3はC4〜C14のアルキル基を表し、nは13〜20の整数であり、mは1〜3の整数である)(B)上記(A)以外のエチレン性不飽和化合物を15〜40重量部及び(C)カルボキシル基を有する高分子化合物を50〜70重量部(ただし(A)、(B)及び(C)の総量が100重量部になるようにする)並びに(D)光開始剤を(A)、(B)及び(C)の総量100重量部に対して0.05〜20重量部含有してなる、アルカリ性水溶液に対して可溶又は膨潤可能な感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性フィルム。

Claim (excerpt)：

(A)次の一般式(I)で示されるエチレン性不飽和化合物を3〜20重量部【化1】(式中、R1は水素原子またはメチル基を表し、R2は水素原子またはC1〜C4のアルキル基を表し、R3はC4〜C14のアルキル基を表し、nは13〜20の整数であり、mは1〜3の整数である)(B)上記(A)以外のエチレン性不飽和化合物を15〜40重量部及び(C)カルボキシル基を有する高分子化合物を50〜70重量部(ただし(A)、(B)及び(C)の総量が100重量部になるようにする)並びに(D)光開始剤を(A)、(B)及び(C)の総量100重量部に対して0.05〜20重量部含有してなる、アルカリ性水溶液に対して可溶又は膨潤可能な感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭60-011840
  
• 特開昭63-202740
  
• 特開昭61-098716
  
• 特開昭50-023494