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J-GLOBAL ID:200903070544076713
物体の形状測定装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
阿部 龍吉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993087424
Publication number (International publication number):1994300536
Application date: Apr. 14, 1993
Publication date: Oct. 28, 1994
Summary:
【要約】【目的】 光学系の小型化、移動物体の位置と形状の測定が可能な物体の形状測定装置を提供する。【構成】 光走査により移動する物体の形状を測定する物体の形状測定装置であって、光源1と受光器2を用い被測定物体からの反射光を受光器で検出して被測定物体までの距離と速度を測定する距離・速度計A、該距離・速度計Aからの出射光を2次元的に走査する光走査手段8〜14、該光走査手段による各走査時刻を計測する計時手段15、距離・速度計による測定値と光走査手段による走査点と計時手段による時刻から被測定物体の形状と位置を演算する演算手段16とを備えたことを特徴とする。この構成により、時刻毎に速度により距離補正を行って移動する被測定物体の形状を測定することができる。
Claim (excerpt):
光走査により移動する物体の形状を測定する物体の形状測定装置であって、光源と受光器を用い被測定物体からの反射光を受光器で検出して被測定物体までの距離と速度を測定する距離・速度計、該距離・速度計からの出射光を2次元的に走査する光走査手段、該光走査手段による各走査時刻を計測する計時手段、距離・速度計による測定値と光走査手段による走査点と計時手段による時刻から被測定物体の形状と位置を演算する演算手段とを備えたことを特徴とする物体の形状測定装置。
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