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J-GLOBAL ID：200903070574955266

画像検査装置

Inventor： 外山 公一 ,  山村 辰男
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993285419
Publication number (International publication number)：1995140092
Application date： Nov. 16, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：

【要約】【目的】TVカメラで撮像した被検査物の画像をラスタ走査し、そのA/D変換値としての多値濃淡画像信号POをフレームメモリ1に格納し、このメモリのデータから被検査物の画像内の黒欠陥画素や白欠陥画素を検出し、被検査物のキズや汚れを検査する画像検査装置において、照明手段の照度低下に基づく検査精度の低下を防ぎ、照度低下が限度を越えたら警報を出し照明手段の保守を促す。【構成】照度計測回路60は多値濃淡画像信号PO、またはフレームメモリ1の画像データ1aを切替器61を介し入力し、検査対象画像内の照度計測領域の画素の平均値を求めて計測照度信号60aとし出力する。総合判定回路15では、計測照度に比例して欠陥画素検出用の2値化しきい値を補正し、また計測照度が所定のしきい値を下回る頻度が所定限度を越えると、照度異常発生信号を出力する。

Claim (excerpt)：

照明手段によって照明された被検査物の照明面を撮像し、この撮像された画像を解析して欠陥の被検査物を検出する画像検査装置であって、前記撮像の画面走査によって得られる濃淡画像信号のA/D変換信号としての多値濃淡画像信号を、前記撮像画面に対応する画面上のデータとしてフレームメモリに記憶し、被検査物の画像領域を欠陥画素検出のための1または複数のウィンドウ領域に分割し、このウィンドウ領域ごとに黒欠陥画素または(及び)白欠陥画素検出用の所定の固定または(及び)差分の2値化しきい値を設定し、前記ウィンドウ領域ごとの前記2値化しきい値により2値化された欠陥画素数の総和を求め、この欠陥画素数が当該のウィンドウ領域に対して設定された欠陥被検査物検出用の面積しきい値を越えるか否かに応じて、当該の被検査物が欠陥品であるか否かを判定する画像検査装置において、前記判定のつど被検査物の画像領域内に照度計測領域を発生させ、この照度計測領域のすべてまたは一部の画素の濃度の平均(以下計測照度という)を求め、この計測照度に比例して前記2値化しきい値を補正する手段と、前記計測照度が予め設定された照度異常しきい値を下回ったことを検出して、予備照度異常と判定し、さらにこの予備照度異常が予め設定された回数(以下連続照度異常しきい値という)以上連続して検出されたとき、照度異常が発生したものと判定する第1の照度異常判定手段、被検査物についての前記判定の予め設定された回数内に発生した前記予備照度異常の判定回数の割合の移動平均としての予備照度異常発生率が、予め設定されたしきい値を上回ったことを検出して、照度異常が発生したものと判定する第2の照度異常判定手段の、2つの照度異常判定手段のいずれか、または両方の照度異常発生判定に基づいて照度異常発生信号を出力する手段とを備えたことを特徴とする画像検査装置。

IPC (5)：

G01N 21/90 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 5/00

FI (2)：

G06F 15/62 400 ,  G06F 15/68 320 Z