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J-GLOBAL ID：200903070594817722

テープキャリアの欠陥検査装置

Inventor： 中森 幸雄
Applicant, Patent owner： 日本インターコネクションシステムズ株式会社
Agent (1)： 半田 昌男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994104467
Publication number (International publication number)：1995286834
Application date： Apr. 19, 1994
Publication date： Oct. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 インナーリード(IL)のZ方向の曲がりを検査することができるテープキャリアの欠陥検査装置を提供する。【構成】 第一照明光学系10は、光源12a,12bと、反射ミラー14a,14bと、黒色板16とを有し、テープキャリア2のILに対してILの導出方向における両側の斜め上方から40°〜80°の範囲の照射角度で光を照射する。CCDカメラ32aは、テープキャリア2のデバイスホールの略直上に配置される。ILがZ方向に曲がっているほど、CCDカメラ32aには強度の大きいILからの反射光が入射する。このため、画像処理部36において、CCDカメラ32aから得られた画像に基づいて所定の輝度レベル以上の領域が所定の大きさを有するかどうかを調べることにより、ILがZ方向に曲がっているかどうかを検査することができる。

Claim (excerpt)：

テープキャリアのインナーリードに対して、前記インナーリードの導出方向における両側の斜め上方から光を照射する照明手段と、前記テープキャリアのデバイスホールの略直上に配置され前記インナーリードからの反射光を検出することにより前記インナーリードを撮像する撮像手段と、前記撮像手段から得られた画像に基づいて所定の輝度レベル以上の領域を有するかどうかを調べることにより前記インナーリードがZ方向に曲がっているかどうかを判定する画像処理手段と、を備えることを特徴とするテープキャリアの欠陥検査装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  H01L 21/66