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J-GLOBAL ID：200903070596104952

蒸着装置

Inventor： 中野 邦昭 ,  川端 勝一
Applicant, Patent owner： コニカ株式会社
Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991258684
Publication number (International publication number)：1993070932
Application date： Sep. 11, 1991
Publication date： Mar. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、蒸着効率が高く、また大面積の基板上へも均一な膜厚分布で効率的に蒸着することができ、さらに堆積物の除去、回収作業が容易となる蒸着装置を提供することにある。【構成】 蒸発源に対向する蒸着位置に基板を位置させて、この基板上に蒸発源物質を蒸着する蒸着装置において、前記蒸発源から前記基板が位置される蒸着位置に至る空間を取り囲むよう防着板を配置し、この防着板に加熱手段を設けたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

蒸発源に対向する蒸着位置に基板を位置させて、この基板上に蒸発源物質を蒸着する蒸着装置において、前記蒸発源から前記基板が位置される蒸着位置に至る空間を取り囲むよう防着板を配置し、この防着板に加熱手段を設けたことを特徴とする蒸着装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭63-121659
  
• 特開平2-015165
  
• 特開平2-185965
  
• 特開平3-183778
  
• 特開平4-066662