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J-GLOBAL ID：200903070601405710

内側部を有する被コーティング体のコーティング方法及び装置

Inventor： 藤山 寛 ,  高木 俊
Applicant, Patent owner： 日東工器株式会社
Agent (1)： 開口 宗昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992089497
Publication number (International publication number)：1993263223
Application date： Mar. 14, 1992
Publication date： Oct. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 小口径の管体、円筒体等の被コーティング材でも容易に内側面、端面及び外側面のコーティングができる内側部を有する被コーティング体のコーティング方法及び装置を提供する。【構成】 減圧下の放電ガス内に設置された被コーティング体の内側軸心上に第1ターゲット、端面に対向して第2ターゲット、外側に対して第3ターゲットを設け、同軸管路にマイクロ波を照射すると共にこのマイクロ波の周波数に対応した磁場を発生させると、電子サイクロトロン共鳴プラズマが発生する。被コーティング体に対しスパッターのターゲットを負電位とし、被コーティング体をアースするとターゲットにプラズマ中の正イオンが衝突し、ターゲットから中性粒子が飛び出し、被コーティング体の内側面、端面及び外側面に中性粒子及び放電ガス中のN2とからセラミックスの被膜が形成される。

Claim (excerpt)：

真空装置内に内側部を有する被コーティング体とターゲットを配設し、前記真空装置内を減圧して放電ガスを供給し、磁場を発生させるとともにマイクロ波を照射して電子サイクロトロン共鳴プラズマを発生させ、前記ターゲットを前記被コーティング体に対し負電位としてスパッタリングを発生させ、前記被コーティング体をコーティングする内側部を有する被コーティング体のコーティング方法において、前記ターゲットが前記被コーティング体の内部に同軸上に設けられた第1ターゲットと、 前記被コーティング体の端面に対して設けられた第2ターゲットと、前記被コーティング体の外側に対して設けられた第3ターゲットとよりなることを特徴とする内側部を有する被コーティング体のコーティング方法。