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J-GLOBAL ID：200903070611097984

成形体の製造方法

Inventor： 河野 俊司 ,  松永 忠與
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993223475
Publication number (International publication number)：1995076048
Application date： Sep. 08, 1993
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：

【要約】【構成】基板上に、イオンビームアシスト蒸着法により無機物質からなる蒸着膜を少なくとも設けた成形体の製造方法において、該イオンビームアシスト蒸着を施す蒸着面をイオンビームクリーニング処理および/またはプラズマ処理することを特徴とする成形体の製造方法。【効果】本発明により得られた成形体は、蒸着膜の密着性が優れるため、高い表面硬度、優れた耐熱水性、優れた耐久性を有する。

Claim (excerpt)：

基板上に、イオンビームアシスト蒸着法により無機物質からなる蒸着膜を少なくとも設けた成形体の製造方法において、該イオンビームアシスト蒸着を施す蒸着面をイオンビームクリーニング処理および/またはプラズマ処理することを特徴とする成形体の製造方法。

IPC (5)：

B29D 11/00 ,  C08J 7/00 302 ,  C08J 7/00 306 ,  C23C 14/02 ,  G02B 1/10