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J-GLOBAL ID：200903070612699678

ポジ型感光性組成物

Inventor： 児玉 邦彦
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997272803
Publication number (International publication number)：1999109631
Application date： Oct. 06, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】露光を受けない部分と露光された部分のアルカリ溶液に対する溶解速度を差を増大させ、それによって、微細パターンの解像力を向上させ、未露光部の膜減りが少なく、しかも感度の低下を伴わない感光性組成物を提供すること。【解決手段】(A)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)3級炭素基を含んだ特定構造の酸分解性基でポリマー主鎖が架橋されている酸分解性樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

(A)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)下記の式〔I〕に示される酸分解性基でポリマー主鎖が架橋されている酸分解性樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。式〔I〕【化1】式中、R1、R2は同一でも異なっていてもよく直鎖、分岐、環状アルキル基、置換していてもよいアラルキル基、置換していてもよいアリール基を示す。R1、R2のうち2つ以上が結合して単環あるいは多環を形成してもよい。Xは単結合、置換していてもよいアリーレン基、置換していてもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい直鎖、分岐、環状アルキレン基、置換していてもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい直鎖、分岐、環状アルケニレン基、アルキニレン基、置換していてもよいアラルキレン基またはこれらのうち2種以上を含んでもよい2価又は3価の有機基を示す。nは2または3を示す。

IPC (4)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/18 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/18 ,  H01L 21/30 502 R