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J-GLOBAL ID：200903070618590201

減圧処理装置の真空排気装置

Inventor： 増田 充弘 ,  千葉 隆俊 ,  西原 英夫 ,  中島 敏博
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 間宮 武雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996186667
Publication number (International publication number)：1998011152
Application date： Jun. 26, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 減圧処理装置の減圧処理室の内部の圧力を広範囲にわたり安定して制御でき、従来は処理条件が変更される毎に行なわれていた合わせ込み作業を不要にして、装置の稼動率を向上させることができる装置を提供する。【解決手段】 減圧処理室1と真空ポンプ4とを流路接続しスロットルバルブ5が介設された真空排気路3の、スロットルバルブより上流側にバラストガス導入路8を連通接続し、真空排気路に一定流量のバラストガスを流すようにし、コントローラ7によりスロットルバルブの開度を調節制御して減圧処理室の内部を所望の圧力に調整する。

Claim (excerpt)：

減圧処理装置の減圧処理室と真空排気手段とを流路接続する真空排気路にスロットルバルブを介設し、制御手段により前記スロットルバルブの開度を調節制御して前記減圧処理室の内部を所望の圧力に調整する、減圧処理装置の真空排気装置において、前記真空排気路の、前記スロットルバルブより上流側にバラストガスの導入路を連通接続し、真空排気路の、スロットルバルブの方向へ一定流量のバラストガスを流すようにしたことを特徴とする、減圧処理装置の真空排気装置。

IPC (3)：

G05D 16/00 ,  G05D 7/06 ,  C23C 14/00

FI (3)：

G05D 16/00 Z ,  G05D 7/06 Z ,  C23C 14/00 C