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J-GLOBAL ID：200903070636063677

枚葉式両面洗浄装置

Inventor： 松川 浩之 ,  米水 昭 ,  松下 道明
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993300985
Publication number (International publication number)：1995130693
Application date： Nov. 05, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】 多種多様な工程に対応できる枚葉式両面洗浄装置。【構成】 被洗浄体が収納されたカセットを搬入搬出するカセットステーションと、このカセットステーションから取り出された上記被洗浄体を搬送する搬送機構と、この搬送機構が上記被搬送体を搬送する搬送路と、この搬送路に沿って設けられた被洗浄体を洗浄する少なくとも1つの洗浄機構と、上記搬送路に沿って設けられた被洗浄体の表裏面を反転させる被洗浄体反転機構とから構成されたことを特徴とする枚葉式両面洗浄装置。

Claim (excerpt)：

被洗浄体が収納されたカセットを搬入搬出するカセットステーションと、このカセットステーションから取り出された上記被洗浄体を搬送する搬送機構と、この搬送機構が上記被搬送体を搬送する搬送路と、この搬送路に沿って設けられた被洗浄体を洗浄する少なくとも1つの洗浄機構と、上記搬送路に沿って設けられた被洗浄体の表裏面を反転させる被洗浄体反転機構とから構成されたことを特徴とする枚葉式両面洗浄装置。

IPC (6)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 361 ,  B08B 3/02 ,  B08B 11/04 ,  H01L 21/306

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-089932   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開平3-052226